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Temptronic ThermoChuck
上海伯東美國 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系統利用導電加熱和冷卻系統，搭配晶圓探針臺共同使用，提供 -65 至 +300°C 高低溫環境，適用晶圓 150 mm、200 mm、300 mm ，可用于激光微調 Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測試，例如低泄漏探測(fA)和高電壓探測(10 kv)，適用于晶圓、芯片在電高低溫環境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 適合各種廠牌晶圓探針臺，為確保兼容性，具體選型還請撥打客服熱線：021-50463511
一、晶圓尺寸：150 和 200 mm
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ThermoChuck 型號 |
溫度范圍°C |
冷卻 |
加熱 |
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TP03000A |
-65 to +200°C |
Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling |
熱電 |
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TP03010A |
+20 to +200°C |
風冷/水冷* |
熱電 |
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TP03010B |
0 to +200°C |
Closed loop glycol/water cooling |
熱電 |
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TP03015A |
+30 to +200°C (+300ºC optional) |
風冷/水冷* |
電阻 |
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TP03015B |
+30 to +200°C (+300°C optional) |
Closed loop glycol/水冷 |
電阻 |
電壓 115V或 220V
* 用戶提供冷卻介質
二、晶圓尺寸：300 mm
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ThermoChuck 型號 |
溫度范圍°C |
冷卻 |
加熱 |
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TP03500A |
-55 to +200 |
Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling |
電阻 |
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TP03500D |
+20 to +200 |
Open loop air cooling with Vortex* |
電阻 |
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TP03500E |
+30 to +200 |
Open loop air cooling* |
電阻 |
電壓 220V
* 用戶提供冷卻介質