KRI 考夫曼離子源 KDC 10
閱讀數: 3475

KRI 考夫曼離子源 KDC 10

KRI 考夫曼離子源 KDC 10
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 10: 考夫曼型離子源 Gridded 系列最小型號的離子源. 適用于集成在小型的真空設備中, 例如預清洗, 離子濺射, 離子蝕刻. 在 <1000eV 低能量, 通 Ar 氬氣時離子蝕刻的能力顯著提高.KDC 10 離子源低損傷, 寬束設計, 低成本等優點廣泛應用在顯微鏡領域, 標準配置下 KDC 10 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 10mA.

 KRI 考夫曼離子源 KDC 10 技術參數

型號

KDC 10

供電

DC magnetic confinement

 - 陰極燈絲

1

 - 陽極電壓

0-100V DC

 - 柵極直徑

1cm

中和器

燈絲

電源控制

KSC 1202

配置

-

 - 陰極中和器

Filament, Sidewinder Filament  或LFN 1000

 - 架構

移動或快速法蘭

 - 高度

4.5'

 - 直徑

1.52'

 - 離子束

集中
平行
散設

 -加工材料

金屬
電介質
半導體

 -工藝氣體

惰性
活性
混合

 -安裝距離

2-12”

 - 自動控制

控制4種氣體


KRI 考夫曼離子源 KDC 10 應用領域
離子清洗, 顯微鏡拋光 IBP
濺鍍和蒸發鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學鍍膜) IBAD
表面改性, 激活 SM
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE

其他產品
3d试机号近100期开奖号 天津快乐十分任四遗漏 打麻将游戏下载 OG真人官网 搜狐足彩 广东新11选5直播 阿里股票 夺宝电子官网注册 燕赵河北福彩20选5走势图 竞彩总进球数高手 赛车北京pk10官网 以太坊挖矿教程 77现金棋牌游戏平台 四川扑克麻将牌技教学 双色球走势提带坐标2 世界杯比分预测丹麦对法国 波场币怎么获得